性能参数：

　　加工精度。

　　1. 间隙加工精度保证达到正负2μm，XY轴标准搭载光栅尺；热变量补偿+Z轴冷却机械构造抑制加工机热变化。

　　2. 配标准搭载三菱研发的“温控系统”，通过“监视器”实现环境温度变化可视化。

　　3. 搭载三菱制造的NC机器+三菱伺服控制技术+高精度驱动部件，实现高精度的广行程间隙加工。

　　4. 高刚性：采用低头构造高刚性Z轴；采用高刚性一体式加工头构造；通过直接驱动提高伺服应答性能。

　　5. 高刚性C轴/高精度心轴：可实现高精度的螺旋加工，分度加工；电极容许惯性增大高刚性高精度C轴。

　　6. 高品质细微精加工功能（NP2回路）：通过隔绝浮游容量成分，实现业界*小面精度Ra0.05μm。

　　7. 狭隙回路：应对微小缩小量（单侧缩小量0.015-0.030mm）加工；在微小缩小量加工中，抑制电极消耗实现微小拐角R

　　生产性能

　　1. 通过抬刀功能“SS抬刀”及适应控制IDPM的功能升级，石墨电极的加工速度可提升40%抬刀加速度（1.6G）

　　使得加工效率大幅提高。

　　2. 实现业界*小面精度Ra0.05μm，改良版NP2回路实现稳定的高品质精加工面精度

　　3. 省略研磨作业工序。通过光泽面处理功能LLTX，避免形状崩坏实现高品质加工，大RSm面提高了脱模性

　　操作性能。作业性能

　　1. 标准配备三面自动升降加工槽，标准配置喷出吸引自动切换

　　2. 高速化轴运行以缩短准确时间，按客户要求自由更改轴巡航速度

　　3. 准备作业性能提高，增加平台T槽数量。加工头安装磁性支架设置安装场地。

　　4. ESPER程序中可使用变量

　　自动化应对

　　1. 采用大加工槽与加工台，分度装置的配合使用更简便

　　2. 标准使用左右对称的配置

　　3. 可选择LS类型、MVH类型2种ATC

　　4. 电极、工件自动更换装置的连接更简便