高真空电极
法兰材质:SUS304
温度范围：-270℃~450℃
压力范围：105Pa~1.3x10-7Pa
漏 率： ≤1x10-10Pa.m3/s
电压范围：1 ~ 20KV
电流范围：5 ~ 200A
大电流，高电压超高真空传输件
应用于电物理研究、真空镀膜、电子束蒸发、磁控溅射等工艺系统；
多种法兰、电压、电流方案规格供选择，更多需求联系技术销售工程师
支持客户来图定制；

高真空角阀用于接通或切断真空管路中的气流；可用于真空系统破空、可用于粗放式控制气体流量；在不超过2bar的压力下两个方向均可防漏，且易于打开；安装方向不受限制；适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。有手动、气动、电磁驱动三种驱动方式。
产品特点：
1、标准化、模块化设计，易于更换及维修；
2、便于清洁的设计；
主要零件材料
主要零部件名称 材质
阀体、波纹管阀芯 304或316L
手动旋钮或气缸、阀盖 LY12阳极化
阀芯密封圈、阀盖密封圈 氟橡胶

焊接波纹管是一种由许多以冲压方式成型的薄形中空膜片，利用精密焊接所制成的高度可弯曲及伸缩的金属管，其组成方式是由两成型中空膜片以同心圆的方式作内缘焊接组成膜片对，再将多个膜片对堆垒一起作外缘焊接组成波纹段，再于两端和端板金属焊接组合成波纹管组，如此便可应外部的需要与其他运动部件一起作往复运动。因其既有良好的密封性，又有良好的弹性，普遍用在真空装备上。焊接波纹管的寿命不但与它的结构和所选取的材料有关，而且与其使用条件、工作行程有很大关系。
1.2主要技术参数
真空漏率 ≤1x10-9Pa.m3/s
使用温度 -251～800℃
压缩率 -70%
伸长率 +20%
使用寿命 10-100万回
材质 SUS316L、AM350、INCONEL合金、Ti
规格/尺寸 见产品规格表

高温型真空直线导入器是在高温和超高真空环境下直线传输样品的重要装置；该真空直线导入器的真空密封采用高品质的焊接波纹管进行轴向密封，在保证超高真空密封的同时，通过手动调节手轮，实现高精度的直线驱动，也可和步进电机（本产品采用闭环伺服步进电机）组合，实现电控操作性能，具有控制精度高、传动平稳、恒力矩等特点；本产品采用精密丝杆实现无间隙传动，重复定位精度高，传动精度最高可达到0.01mm（默认精度为0.02mm）；可根据客户的具体规格和应用来定制不同驱动长度、不同驱动方式和驱动精度。
主要参数
适用范围： 105～1x10-7Pa
真空漏率： ≤1x10-9Pa.m3/s
适用温度： -30℃～200℃
驱动方式： 手动或电机驱动
驱动方向： 直线
安装状态： 任意方向
连接方式： CF法兰或客户指定
主要材料: SUS304

电动真空旋转导入器外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，的导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。是实现真空环境中样品精确旋转驱动的重要仪器。可以根据客户的具体规格和应用来定制。
 
技术参数：
密封机制 波纹管
材料 304不锈钢/铝身（高温型都是304不锈钢）
压力范围 1 x 10-9 Torr（KF） 1 x 10-11 Torr(CF)
烘烤温度 200℃（高温型：230℃）
工作温度 -20℃—150℃
zui大转矩 125 oz./in
 
分类
功能 手动 电动 气动 特殊性
性能 经济 微型 快门 实心轴刀口法兰
  标准 标准   实心轴基板
  高温 精密   实心轴O型圈
  重载 磁耦合   空心轴O型圈
  精密 波纹管   空心轴筒
  磁耦合      
  直联      
  螺纹式      
  快门      
  波纹管      
  微型      

超高真空旋转导入器是实现真空环境中样品精确旋转驱动的重要仪器装置，有手动和电机驱动两种驱动方式。
主要特性有：超高真空领域应用；旋转角度任意；超大转矩；超低放气率；
可以根据客户的具体规格和应用来定制。
 
技术参数
适用范围：105----1x10-7Pa
真空漏率：≤10-9Pa.m3/s
适用温度：-30℃---180℃
驱动方式：手动(可选电动驱动）
驱动方向：360°旋转
安装状态：任意方向
连接方式：CF法兰或客户指定
密封机制：波纹管密封
主要材料：304不锈钢

电动真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管，保证十万次以上的循环使用，轴向驱动力可达到150N，在保证超高真空密封的同时，通过电机驱动，实现高精度的直线驱动，精确位置控制，安装角度自由；根据客户要求，可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构，客户根据使用要求选用。
主要参数
适用范围： 105～5x10-7Pa
真空漏率： ≤1x10-10Pa.m3/s
适用温度： -30～300℃
驱动方式： 电动
驱动方向： 直线
安装状态： 任意方向
连接方式： CF法兰或客户指定
主要零件材料
焊接波纹管 316L
刻度圆柱 304
进给刻度盘 LV12阳极化

标准型真空直线导入器是超高真空环境下直线传输样品的重要装置；该真空直线导入器的真空密封采用高品质的焊接波纹管进行轴向密封，保证十万次以上的循环使用，轴向驱动力可达到150N，在保证超高真空密封的同时，通过手动调节手轮，实现高精度的直线驱动，精确位置控制，也可和步进电机（本产品采用闭环伺服步进电机）组合，实现电控操作性能，具有控制精度高、传动平稳、恒力矩等特点；本产品采用精密丝杆实现无间隙传动，重复定位精度高，传动精度最高可达到0.01mm（默认精度为0.02mm）；可根据客户的具体规格和应用来定制不同驱动长度、不同连接方式和驱动精度。
主要参数
适用范围： 105～5x10-7Pa
真空漏率： ≤1x10-9Pa.m3/s
适用温度： -30～200℃
驱动方式： 手动或电机驱动
驱动方向： 直线
安装状态： 任意方向
连接方式： CF法兰或客户指定
主要材料 不锈钢304