本公司销售新品Edwards爱德华真空泵
EM 系列油封旋转泵（因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业标准实验室和轻工业应用的行业标准。
E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。 该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。 该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

技术数据
排量（工作容积）
50 Hz 32.2 m3h-1 / 19 ft3min-1
60 Hz 38.9 m3h-1 / 22.3 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50 Hz 27.5 m3h-1 / 16.2 ft3min-1
60 Hz 33.0 m3h-1 / 19.5 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.5 x 10-4 Torr
带气镇 1.5 x 10-2 mbar/1.1 x 10-2 Torr
带 Fomblin? 1 x 10-2 mbar/7.5 x 10-3 Torr
进气口连接 NW25 法兰
出口连接* 可从 3/4 英寸 BSP 塞孔卸下的 15 mm 外径喷嘴
出口处的最大允许压力 0.5 bar 表压/7 p
水蒸汽的最大进气口压力 30 mbar/23 Torr
最大水蒸汽抽速 0.7 kg h-1
工作温度范围 13 – 40 °C
标称转速 1440/1720 rpm
电机功率 50 Hz 0.75 kW
电机功率 60 Hz 0.90 kW
电源连接器（1 相）IEC EN60320 C19
重量 44 kg/97 lbs
噪音 50 Hz 时 57 dB(A)
油容量 - 最大 1.5 升
油容量 - 最小 1.2 升
推荐使用的油（提供） Ultragrade 19

应用
分析仪器 - LCMS
汽车
射束线和高能物理
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
旋转离心蒸发器
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

E2M1.5 是双级油封旋片泵，适用于许多工作台类型应用。该泵在泵侧面上具有一个备用进气口连接位置，从而可在需要时将整体安装高度降到最低程度。

层间型号采用附加的泵送端口为辅助工作提供大致程度的真空。

应用

分析仪器
实验室工作台上真空
氦检漏仪
研发
前级涡轮分子泵

功能和优势

该泵旨在进行可靠的长期运行。
紧凑的尺寸。
低能耗。
层间型号采用附加的泵送端口为辅助工作提供大致程度的真空。
该泵为自由放置的装置。
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。
易于使用控制
具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。
用于大量水蒸汽处理的气囊阀。
经外部机构检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准。

技术数据

容积（工作容积）
50Hz 1.8 m3h-1/1 ft3min-1
60Hz 2.2 m3h-1/1.3 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 1.6 m3h-1/0.8 ft3min-1
60Hz 2.0 m3h-1/1.2 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气囊 3 x 10-3 mbar/2.3 x 10-3 Torr
带气囊 2.5 x 10-2 mbar/1.9 x 10-2 Torr
入口连接 NW10 法兰
出口连接 喷嘴外径 11 mm，可从 3/8 英寸 BSP 螺纹孔拆卸
允许的最大出口压力 0.5 bar 压力表压力/7 psig
最大水蒸汽入口压力 15 mbar/11 Torr
最大水蒸汽抽取速度 16 gh-1
马达功率 50/60Hz (IP54) 0.16kW
标称转速 50/60Hz 2800/3400 rpm
电源连接器 IEC EN60320 C13
操作温度范围 12 - 40 °C
重量 10 kg/22 lbs
噪声 50Hz 时为 54 dB (A)
油容量 - 最大 0.28 升
最小 0.2 升
推荐用油（已提供） Ultragrade 15

E2M1.5 是双级油封旋片泵，适用于许多工作台类型应用。该泵在泵侧面上具有一个备用进气口连接位置，从而可在需要时将整体安装高度降到最低程度。

层间型号采用附加的泵送端口为辅助工作提供大致程度的真空。

应用

分析仪器
实验室工作台上真空
氦检漏仪
研发
前级涡轮分子泵

功能和优势

该泵旨在进行可靠的长期运行。
紧凑的尺寸。
低能耗。
层间型号采用附加的泵送端口为辅助工作提供大致程度的真空。
该泵为自由放置的装置。
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。
易于使用控制
具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。
用于大量水蒸汽处理的气囊阀。
经外部机构检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准。

技术数据

容积（工作容积）
50Hz 1.8 m3h-1/1 ft3min-1
60Hz 2.2 m3h-1/1.3 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 1.6 m3h-1/0.8 ft3min-1
60Hz 2.0 m3h-1/1.2 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气囊 3 x 10-3 mbar/2.3 x 10-3 Torr
带气囊 2.5 x 10-2 mbar/1.9 x 10-2 Torr
入口连接 NW10 法兰
出口连接 喷嘴外径 11 mm，可从 3/8 英寸 BSP 螺纹孔拆卸
允许的最大出口压力 0.5 bar 压力表压力/7 psig
最大水蒸汽入口压力 15 mbar/11 Torr
最大水蒸汽抽取速度 16 gh-1
马达功率 50/60Hz (IP54) 0.16kW
标称转速 50/60Hz 2800/3400 rpm
电源连接器 IEC EN60320 C13
操作温度范围 12 - 40 °C
重量 10 kg/22 lbs
噪声 50Hz 时为 54 dB (A)
油容量 - 最大 0.28 升
最小 0.2 升
推荐用油（已提供） Ultragrade 15

E2M0.7 是小型双级油封旋片泵，其特点是噪音级别很低（仅为 43 dB(A)）、尺寸紧凑、能耗低并且工作温度低。由于可用于小型涡轮分子和扩散前级泵以及常规实验室应用，该产品将吸引科学仪器制造商和实验室用户的注意。
该泵安装在机箱中，几乎听不到噪音，并且较低的工作温度可将设备上的热负荷降到最低程度。垂直真空进气口具有水平选件。

技术数据：

容积（工作容积）50Hz 0.9 m3h-1/0.5 ft3min-1
容积（工作容积）60Hz 1.1 m3h-1/0.6 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 50Hz 0.75 m3h-1/0.4 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 60Hz 0.95 m3h-1/0.5 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气囊 3.0 x 10-3 mbar/2.3 x 10-3 Torr
带全气囊 2.0 x 10-1 mbar/1.5 x 10-1 Torr
入口连接 NW10 法兰
出口连接 喷嘴外径 11 mm，可从 3/8 英寸 BSP 螺纹孔拆卸
允许的最大出口压力 0.5 bar 压力表压力/7 psig
最大水蒸汽入口压力 15 mbar/11 Torr
最大水蒸汽抽取速度 8 gh-1
马达功率 0.09kW
标称转速 50/60Hz 1400/1700 rpm
电源连接器 IEC EN60320 C13
操作温度范围 12 - 40 °C
重量（不含油） 10 kg/22 lbs
噪声 50Hz 时 43 dB(A)
油容量 - 最大 0.28 升
油容量 - 最小 0.2 升
推荐用油（已提供） Ultragrade 15

特性与优势：

非常低的噪音级别，仅为 43 dB(A)。
该泵旨在进行可靠的长期运行。
紧凑的尺寸。
低能耗。
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到最低程度。
该泵为自由放置的装置。
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。
具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。
用于大量水蒸汽处理的气囊阀。
经外部机构检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准。

应用：

分析仪器
氦检漏仪
研发
前级涡轮分子泵

爱德华E2M80真空泵检修包/密封件：叶片，油封（轴封）,密封套件,轴套, 轴承, 轴套, 连轴器垫（套）。

维修Edwards爱德华系列真空泵, ALCATEL阿尔卡特系列真空泵，LEYBOLD莱宝系列真空泵,BECKER 贝克系列真空泵, BUSCH 普熙系列真空泵, ORION 好利旺真空泵,ULVAC 爱发科真空泵,PFEIFFER 普发系列真空泵, Rietschle 里其乐真空泵, IWATA岩田系列真空泵，CTI真空泵，EBARA真空泵， SHIBAURA真空泵, TOKUDA芝浦系列真空泵, HITACHI 日立系列真空泵, KASHIYAMA 日本坚山工业真空泵, MITSUVAC 三津海真空泵等一系列真空泵和真空泵零件的维修。

[NEW]ISP-500C的防泄漏规格新登场！

有些客户希望高效回收对稀有气体和环境有影响的气体，有些客户希望进行高精度分析，根据他们的要求，我们在500L级产品中新增加了防泄漏规格，与旧机型相比，防泄漏性能大大提高了。
当然，因为是涡旋式，所以具有低振动、低噪音的特点，可在从大气压到极限压力的范围内使用。
　[主要用途]
　　■气体回收
　　■分析装置
　　■其他
特点

丰富的产品系列

从ISP-50到ISP-1000，共5个机型。
从大气压到极限压力，可对应广泛的压力范围。
因为是多电压电源，可使用世界任何地方的电源（除ISP-50外）。
“实际业绩”是阿耐思特岩田的证明

从加速器到通用真空市场，无油涡旋真空泵正在各种真空环境下大显身手。
润滑油不会逆扩散，可得到清洁的真空。
能承受大气压和真空的反复切换，在大气附近也可以连续运转。
所以是最畅销的产品。
低振动、低噪音、高效率！这就是涡旋真空泵

吸气、压缩、排气行程连续，采用的涡旋机构扭矩变化小，所以低振动、低噪音。
吸气室和排气室不相邻，所以泄漏量少，效率高。
维护简单

不使用冷却水和润滑油，所以设置、维护也非常简单。
不需要检查或更换滤油器、润滑油。
用途

■溅射装置、蒸镀装置、离子电镀装置
■加速器
■表面改质装置、电子束加工
■真空溶解炉、真空热处理炉
■气体循环、回收装置
■理化实验用、分析机器用
■各种排气装置
■真空包装机
■He检漏仪
■其他
■真空吸附搬运
安全注意事项

本真空泵为清洁排气规格。
请不要让对人体有毒的气体、有爆炸和燃烧危险的气体、腐蚀性气体、药品、溶剂、粉状体等物质流过真空泵。对于排过特殊气体的真空泵，本公司不进行维护保养，请谅解。
请在周围温度为5℃～40℃（ISP-1000为10℃～40℃）的范围内使用。

1.FOMBLIN PFPE 真空油系列：
YL VAC 真空泵专用FOMBLIN氟素油 25/6 ,
真空泵专用FOMBLIN氟素油 YL VAC 16/6,
真空泵专用FOMBLIN氟素油 YL VAC 06/6,14/6
FOMBLIN氟素油 AR555，
FOMBLIN氟素油 RT15

2.真空油和润滑脂包括
真空油Vacuum Fluid
JOMO VP68
NEOVAC MR-200 MR-250A
FOMBLIN FOMBLIN氟素油06/6，FOMBLIN氟素油16/6，FOMBLIN氟素油25/6，FOMBLIN氟素油 AR555，FOMBLIN氟素油 RT15

3.道康宁DOW CORNING HVG真空油脂 DC 702，道康宁DOW CORNING HVG真空油脂 DC 704，道康宁DOW CORNING HVG真空油脂 DC705 Silicone Fluid
日本Moresco松村真空油

专售欧美厂牌油式/干式真空泵所需之零件耗材、维修包、油品、真空系统周边之真空元件。欢迎您来电咨询。联系电话：郭小姐/13670082261/0755-29704325-801

Edwards E2M80 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供极佳的保护。
这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，安全地处理非易燃气体和蒸汽。

技术数据
排量
50Hz 80 m3h-1/47.1 ft3min-1
60Hz 96 m3h-1/56.5 ft3min-1
速度 (Pneurop)
50Hz 74 m3h-1/43.6 ft3min-1
60Hz 90 m3h-1/53 ft3min-1
级数 2
极限真空（总压力）
不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr
带气镇 7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr
极限（带 Fomblin?）
不带气镇 1 x 10-2 mbar
进气口连接 ISO40
出口连接 适用于 NW25 的 25 mm 法兰
最大出口压力 0.5 bar 表压
水蒸汽的最大进气口压力 5 mbar / 3.8 Torr
最大水蒸汽抽速 0.3 kg h-1/0.7 lb h-1
重量 125 kg/275 lb
电机保护额定值 IP55
电机功率
50Hz 2.2 kW/3 hp
60Hz 3 kW/4 hp
标准油量
最大 6.3 升/6.7 qt
最小 4 升/4.2 qt
PFPE 油量
最大 4.01 升/4.2 qt
最小 2.19 升/2.3 qt
推荐用油 Ultragrade 70
噪音级别 70 dB(A)

应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵

功能和优势

先进的油压回路可提供有效的润滑（即使是在高气体负荷下）
当泵关闭时，弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护
气镇控制可帮助处理高水蒸汽负荷
传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承，可靠性极高，使用寿命和无故障工作时间也更长
通过全高度油品观察窗可方便地检查油位和相关情况
较大型号上安装有滤油机状态指示器，方便您更换滤油机
中央进气口方便您在需要时安装机械增压泵
我们提供便捷的维修套件，并为国际客户提供支持服务，维护简单
提供了各种附件，可满足您的应用需求
泵和附件可以作为单个部件提供，也可以作为完整系统化、经过出厂测试的组合提供。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59020957
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能和优势

优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

峰值速度: 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空: 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO100
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 415 kg
极限功率输入: 3.4 kW
电机额定功率: 6.1 kW
油容量: 1.43 l

Edwards RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以高极限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用（包括 GCMS 和其他小工作台式应用）的理想产品。

技术参数：

容积
50Hz 3.7 m3h-1/2.2 ft3min-1
60Hz 4.5 m3h-1/2.6 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 3.3 m3h-1/2 ft3min-1
60Hz 3.9 m3h-1/2.3 ft3min-1
极限压力 2.0 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr
极限压力 GB I 3.0 x 10-2 mbar/2.3 x 10-2 Torr
极限压力 GB II 1.2 x 10-1 mbar/9.1 x 10-2 Torr
极限压力（带 Fomblin?） 2 x 10-2 mbar/1.5 x 10-2 Torr
水蒸汽的最大入口压力 80 mbar/60 Torr
最大水蒸汽抽取速度 – GB I 60 gh-1
最大水蒸汽抽取速度 – GB II 220 gh-1
允许的最大出口压力 0.2 bar 压力表压力/ 2.8 psig
允许的最大入口压力和气囊压力 0.5 bar 压力表压力/7 psig
马达功率 50/60Hz 450/550W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
标称转速 50/60Hz 1500/1800rpm
重量（不含油） 25 kg/55 lb
最小/最大油容量 0.42/0.7 升
推荐用油 Ultragrade 19
入口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪声级别 50Hz 时 48 dB(A)
操作温度范围 12 – 40 °C

应用
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

特性与优势：
48 dB(A)，最大程度减少了侵扰性频率。
双模式。适用于高吞吐量和高真空应用。
易于使用的气囊。
快动式进气口阀为系统提供保护。
高转矩，双压/双频电机，电启动继电器。
高效的高压润滑。
带印刷垫片的油封，轴封效率高。
夹入式观察窗。
高技术聚合物叶片，直径大，油路易于清洁。
具有一致的固有质量，铸棒结构。