汉钟干式真空泵
包括台湾汉钟干式螺杆式真空泵和台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
PDR系列
包括机型 汉钟真空泵 PDR100 ， 汉钟真空泵 PDR602， 汉钟 真空泵 PDR1202
上海汉钟干式真空泵 PS系列
包括机型 汉钟真空泵PS80 ，汉钟真空泵PS160，汉钟真空泵 PS180，汉钟真空泵 PS602，汉钟真空泵 PS1302

台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
　　汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果，终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准
　　汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命。

密封马达安全性高
　　PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全
　　PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

纪维GWSP系列无油涡旋真空泵
产品包括型号 GWSP1000 GWSP600 GWSP300 GWSP150
特点
1.工作可靠
GWSP系列无油涡旋真空泵包括GWSP150、GWSP300、GWSP600、GWSP1000四个品种，在半导体、航空航天、石油化工、食品药品、电力、能源、环保、汽车、分析测试仪器等行业生产线上常年连续运行，稳定可靠，为各行业生产和科学研究用户信赖。

2.性能优秀
对被抽系统无油污染，创造出了洁净的真空环境；
噪音低、振动低、温升低、密封材料性能优异、寿命长达5年，可靠耐用；
排气机构部件互不接触，无摩擦，效率高；没有返油与水蒸汽，也不喷油，节能环保；
极限压力低至1Pa以下，可以替代油旋片真空泵。

3.性价比合理
价格合理，节省采购成本；
运动件无摩擦能耗低，配件质优价廉，服务及时可靠，节省运行成本；
最终产品质量好、成品率高、测试指标准确，节省产品生产成本；
不需要冷却水和润滑油，不需要日常维护，节省人工费用。

纪维GWSPS系列无油涡旋真空泵
型号 GWSPS500 GWSPS900
GWSPS系列无油涡旋真空泵工作过程中轴承与气流通道完全隔绝，将无油涡旋真空泵的应用范围扩大到了油气回收、化工、医药等更广阔的领域。

纪维GWSPL系列无油涡旋真空泵
型号 GWSPL600 GWSPL300 GWSPL150

纪维GWSPC系列无油涡旋真空压缩机
型号 GWSPC1000 GWSPC600 GWSPC300 GWSPC150
被抽气体种类 用于抽洁净气体和含有水分的气体，不能抽化学品、溶剂及大量粉末等。

纪维GWMS系列无油超高真空机组
组成与特点
GWMS系列无油超高真空机组是由主抽泵（复合分子泵或者涡轮分子泵）、前级泵（GWSP系列无油涡旋真空泵）、控制阀门、电控系统、真空管路等组成的清洁无油超高真空获得系统。能提供大抽速的清洁无油高真空环境，安装方便、性能稳定、可靠耐用，是理想的无油超高真空抽气系统。
机组型号 GWMS600/600(600型复合分子泵) GWMS100/150(100型涡轮分子泵)

纪维GWRS系列无油真空机组
纪维GWT系列无油真空系统气体颗粒过滤器
纪维GWTS系列专用密封条

概述
Edwards E2M80 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供极佳的保护。 这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，安全地处理非易燃气体和蒸汽。

技术数据
排量
50Hz 80 m3h-1/47.1 ft3min-1
60Hz 96 m3h-1/56.5 ft3min-1
速度 (Pneurop)
50Hz 74 m3h-1/43.6 ft3min-1
60Hz 90 m3h-1/53 ft3min-1
级数 2
极限真空（总压力）
不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr
带气镇 7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr
极限（带 Fomblin?）
不带气镇 1 x 10-2 mbar
进气口连接 ISO40
出口连接 适用于 NW25 的 25 mm 法兰
最大出口压力 0.5 bar 表压
水蒸汽的最大进气口压力 5 mbar / 3.8 Torr
最大水蒸汽抽速 0.3 kg h-1/0.7 lb h-1
重量 125 kg/275 lb
电机保护额定值 IP55
电机功率
50Hz 2.2 kW/3 hp
60Hz 3 kW/4 hp
标准油量
最大 6.3 升/6.7 qt
最小 4 升/4.2 qt
PFPE 油量
最大 4.01 升/4.2 qt
最小 2.19 升/2.3 qt
推荐用油 Ultragrade 70
噪音级别 70 dB(A)

应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵

概述
Edwards E2M40 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。 这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供极佳的保护。 提供各种附件，因此可用于最广泛的真空应用。

技术数据
排量
50Hz 42.5 m3h-1/25 ft3min-1
60Hz 50.5 m3h-1/29.7 ft3min-1
速度 (Pneurop)
50Hz 37 m3h-1/21.8 ft3min-1
60Hz 44 m3h-1/25.9 ft3min-1
级数 2
极限真空（总压力）
不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr
带气镇 7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr
极限（带 Fomblin?）
不带气镇 1 x 10-2 mbar
进气口连接 ISO40
出口连接 适用于 NW25 的 25 mm 法兰
最大出口压力 0.5 bar 表压
水蒸汽的最大进气口压力 7 mbar / 5.3 Torr
最大水蒸汽抽速 0.2 kg h-1/0.4 lb h-1
重量 82 kg/179 lb
电机保护额定值 IP55
电机功率
50Hz 1.1 kW/1.5 hp
60Hz 1.5 kW/2 hp
标准油量
最大 3.5 升/3.2 qt
最小 1.32 升/1.6 qt
PFPE 油量
最大 3.5 升/3.2 qt
最小 1.32 升/1.6 qt
推荐用油 Ultragrade 70
噪音级别 65 dB(A)

应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵

本公司销售新品Edwards爱德华真空泵
EM 系列油封旋转泵（因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业标准实验室和轻工业应用的行业标准。E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。 该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。 该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

技术数据
排量（工作容积）
50 Hz 32.2 m3h-1 / 19 ft3min-1
60 Hz 38.9 m3h-1 / 22.3 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50 Hz 27.5 m3h-1 / 16.2 ft3min-1
60 Hz 33.0 m3h-1 / 19.5 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.5 x 10-4 Torr
带气镇 1.5 x 10-2 mbar/1.1 x 10-2 Torr
带 Fomblin? 1 x 10-2 mbar/7.5 x 10-3 Torr
进气口连接 NW25 法兰
出口连接* 可从 3/4 英寸 BSP 塞孔卸下的 15 mm 外径喷嘴
出口处的最大允许压力 0.5 bar 表压/7 p
水蒸汽的最大进气口压力 30 mbar/23 Torr
最大水蒸汽抽速 0.7 kg h-1
工作温度范围 13 – 40 °C
标称转速 1440/1720 rpm
电机功率 50 Hz 0.75 kW
电机功率 60 Hz 0.90 kW
电源连接器（1 相）IEC EN60320 C19
重量 44 kg/97 lbs
噪音 50 Hz 时 57 dB(A)
油容量 - 最大 1.5 升
油容量 - 最小 1.2 升
推荐使用的油（提供） Ultragrade 19

应用
分析仪器 - LCMS
汽车
射束线和高能物理
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
旋转离心蒸发器
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

概述
Edwards RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以高极限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用（包括 GCMS 和其他小工作台式应用）的理想产品。

技术数据
排量
50Hz 5.8 m3h-1/3.4 ft3min-1
60Hz 7.0 m3h-1/4.1 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 5.1 m3h-1/3.0 ft3min-1
60Hz 6.2 m3h-1/3.7 ft3min-1
极限压力 2.0 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr
极限压力 GB I 3.0 x 10-2 mbar/2.3 x 10-2 Torr
极限压力 GB II 1.0 x 10-1 mbar/7.5 x 10-2 Torr
极限压力（带 Fomblin?） 2.0 x 10-2 mbar/1.5 x 10-2 Torr
水蒸汽的最大进气口压力 50 mbar/38 Torr
最大水蒸汽抽速 – GB I 60 gh-1
最大水蒸汽抽速 – GB II 220 gh-1
允许的最大出口压力 0.2 bar 表压/3 psig
允许的最大进气口和气镇压力 0.5 bar 表压/7 psig
电机功率 50/60 Hz 450 / 550W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz 1500 / 1800rpm
重量（不含油） 25 kg / 55 lb
最小/最大油容量 0.42/0.7 升
推荐用油 Ultragrade 19
进气口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪音级别 50 Hz 时 48 dB(A)
工作温度范围 12 – 40 °C

应用
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

概述
EM系列的油封旋转泵（因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为实验室和轻工业应用的行业标准。
E1M18 和 E2M18 泵是直联式滑片泵。 该泵是油封的，旨在进行可靠的长期运行。

技术数据
E2M18
排量 (50Hz) 20.5 m3h-1/12.1 ft3min-1
排量 (60Hz) 25.0 m3h-1/14.7 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 50 Hz 17.0 m3h-1/10 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 60Hz 20.4 m3h-1/12.1 ft3min-1
极限真空（总压力）
不带气体吹扫 1 x 10-3 mbar/7.4 x 10-4 Torr
带气体吹扫 1.5 x 10-1 mbar/1.1 x 10-2 Torr
带有 Fomblin? 1 x 10-2 mbar/7.5 x 10-3 Torr
进气口连接 NW25
出口连接 可从 3/4 in BSP 塞孔卸下的 15 mm 外径喷嘴
出口处的最大允许压力 0.5 bar 表压/7 psig
最大进气口压力 20 mbar/
对于水蒸汽 15 Torr
最大水蒸汽抽速 0.3 kg h-1
工作温度范围 13-40°C
标称旋转速度 50/60 Hz 1440/1720 rpm
电源连接器（1 相*） IEC EN60320 C19
电机功率 50 Hz 0.55 kW
电机功率 60 Hz 0.75 kW
重量 39 kg/86 lbs
50Hz 时的噪音 57 dB(A)
油容量 - 最大 1.05 升
油容量 - 最小 0.75 升
推荐使用的油（提供） Ultragrade 19

应用
分析仪器 - LCMS
汽车
射束线和高能物理
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵
TV 制造/灯泡制造

概述
Edwards RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以高极限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用（包括 GCMS 和其他小工作台式应用）的理想产品。

技术数据
排量
50Hz 9.7 m3h-1/5.7 ft3min-1
60Hz 11.7 m3h-1/6.9ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 8.5 m3h-1/5 ft3min-1
60Hz 10 m3h-1/5.9 ft3min-1
极限压力 2 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr
极限压力 GB I 3 x 10-2 mbar/2.3 x 10-2 Torr
极限压力 GB II 6 x 10-2 mbar/4.6 x 10-2 Torr
极限压力（带 Fomblin?） 2 x 10-2 mbar/1.5 x 10-2 Torr
水蒸汽的最大进气口压力 38 mbar/28.5 Torr
最大水蒸汽抽速 – GB I 60 gh-1
最大水蒸汽抽速 – GB II 220 gh-1
允许的最大出口压力 0.2 bar 表压/3 psig
允许的最大进气口和气镇压力 0.5 bar 表压/7 psig
电机功率 50/60 Hz 450 / 550W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz 1500 / 1800rpm
重量（不含油） 28 kg/61.6 lb
最小/最大油容量 0.45/0.75 升
推荐用油 Ultragrade 19
进气口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪音级别 50 Hz 时 48 dB(A)
工作温度范围 12 – 40 °C

应用
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

本公司销售EDWARDS RV系列的真空：
Edwards RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以高极限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用（包括 GCMS 和其他小工作台式应用）的理想产品。

技术数据:
排量
50Hz 14.2 m3h-1/8.4 ft3min-1
60Hz 17 m3h-1/10 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz 12 m3h-1/7.1 ft3min-1
60Hz 14.2 m3h-1/8.4 ft3min-1
极限压力 2 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr
极限压力 GB I 3 x 10-2 mbar/2.3 x 10-2 Torr
极限压力 GB II 6 x 10-2 mbar/4.6 x 10-2 Torr
极限压力（带 Fomblin?） 2 x 10-2 mbar/1.5 x 10-2 Torr
水蒸汽的最大进气口压力 32 mbar/24 Torr
最大水蒸汽抽速 – GB I 60 gh-1
最大水蒸汽抽速 – GB II 220 gh-1
允许的最大出口压力 0.2 bar 表压/3 psig
允许的最大进气口和气镇压力 0.5 bar 表压/7 psig
电机功率 50/60 Hz 450 / 550W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz 1500 / 1800rpm
重量（不含油） 29 kg/63.8 lb
最小/最大油容量 0.65/1 升O
推荐用油 Ultragrade 19
进气口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪音级别 50 Hz 时 48 dB(A)
工作温度范围 12 – 40 °C

应用:
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵

Edwards E2M275 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。 这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供极佳的保护。
这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，安全地处理非易燃气体和蒸汽。

技术数据:
排量
50Hz 292 m3h-1/172 ft3min-1
60Hz 350 m3h-1/206 ft3min-1
速度 (Pneurop)
50Hz 255 m3h-1/150 ft3min-1
60Hz 306 m3h-1 /180 ft3min-1
级数 2
极限真空（总压力）
不带气镇 1.0 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr
带气镇 5.0 x 10-3 mbar/3.8 x 10-3 Torr
入口连接 带密封件的 ISO63 盲法兰
出口连接 中心分接的 ISO40 法兰
最大出口压力 0.5 bar 表压
水蒸汽的最大进气口压力 12 mbar / 9 Torr
最大水蒸汽抽速 2.3 kg h-1/5.1 lb h-1
重量 253 kg/558 lb
电机保护额定值 IP55
电机功率
50Hz 7.5 kW/10 hp
60Hz 8.5 kW/11 hp
标准油量
最大 28 升/29.5 qt
最小 19 升/20 qt
推荐用油 Ultragrade 70
噪音级别 75 dB(A)
水冷却要求 2 lmin-1

应用:
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵