主要特点： A 采用先进的电流型开关电源技术，减小输出储能元件， 同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。 B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式， 更能保证镀膜工艺的重复性。 C 具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象， 充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。 D 主要参数可大范围调节 E 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。 F 采用进口大功率IGBT&MOS模块 采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件， 体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。 该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性， 并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能， 具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度； 主要参数均可大范围连续调节； 方便维护，可靠性高； PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。