国家去离子水超纯水的电阻率要求是： ≥10MΩ.cm
中国国家实验室分析用水标准（GB/T6682-2008）

指标名称 超纯水 一级水 二级水 三级水
PH值范围（25℃） - - - 5.0-7.5
电导率（25℃） ms/m≤ 0.01 0.10 0.50
us/cm≤ 0.1 1 5
比电阻MΩ.cm@25℃> 15-18.2 10 1 0.2
可氧化物[以O计]mg/L - - ≤0.08 ≤0.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤ ≤0.01 ≤0.001 ≤0.01 -
可溶性硅（以二氧化硅计）含量（mg/L） ≤0.01 ≤0.01 ≤0.02 -
蒸发残渣（mg/L） - - ≤1.0 ≤2.0

注1：由于在超纯水、一级水、二级水的纯度下，难于测定其真实的PH值，因此，对于一级水、二级水的PH值范围不做规定。
注2：由于一级水的纯度下，难于测定可氧化物质和蒸发残渣，对其限量不做规定，可用其他条件和制备方法来保证一级水的质量。
去离子水设备工艺流程：
5umPPF过滤→CTO过滤器→1umPPF过滤器→高压水泵→RO渗透→一级纯水柱→二级纯水柱→三级纯水柱→在线电导率→出水阀
进水要求：
小型去离子水机，原水设计一般为市政自来水，基本要求如下：
a.最小原水压力：30psi（0.3Mpa）
b.最小供水流量≥m3/h
c.水温：15℃-45℃
d.PH范围:6.5-8.5
e.硬度:75mg/L(以caco3计)
f.浊度:≤1NTU
g.污染指数:SDI