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为您提供：四氟化碳 四氟甲烷

四氟化碳主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

四氟化碳参数说明http://www.kdgc.cn/GetKnowLEDge/zh-CN/p288.aspx

科的公司高纯气体产品系列：
六氟化硫 (SF6)、一氧化氮 (NO)、二氧化碳 (CO2)、氧化亚氮 (N2O)、四氟化碳 (CF4)、八氟环丁烷 (C4F8)、高纯氨(NH3)、甲烷(CH4)、高纯丙烯 (C3H6)、高纯丙烷 (C3H8)、正丁烷 (C4H10)、异丁烷(i- C4H10)、异丁烯 (C4H8)、1,3-丁二烯(C4H6)、高纯氦气/超纯氦(He)、高纯氮/超纯氮 (N2)、高纯氩/超纯氩(Ar)、高纯氢/超纯氢(H2)、氙气(Xe)、氖气(Ne)、氪气(kr)
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